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文献
J-GLOBAL ID：200902274946698770
整理番号：05A0990843
数値制御したプラズマ化学蒸発マシニングよる水晶結晶ウエハの厚み分布の向上
Improvement of the thickness distribution of a quartz crystal wafer by numerically controlled plasma chemical vaporization machining
SHIBAHARA Masafumi
(Dep. of Product Innovation, Hyogo Prefectural Inst. of Technol., 3-1-12 Yukihira-cho, Suma-ku, Kobe, Hyogo 654-0037, JPN)
,
YAMAMURA Kazuya
(Res. Center for Ultra-Precision Sci. and Technol. Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamada-oka, Suita ...)
,
SANO Yasuhisa
(Dep. of Precision Sci. and Technol. Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka ...)
,
SUGIYAMA Tsuyoshi
(Dep. of Precision Sci. and Technol. Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka ...)
,
ENDO Katsuyoshi
(Res. Center for Ultra-Precision Sci. and Technol. Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamada-oka, Suita ...)
,
MORI Yuzo
(Res. Center for Ultra-Precision Sci. and Technol. Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamada-oka, Suita ...)
資料名：
Review of Scientific Instruments
(Review of Scientific Instruments)
巻： 76 号： 9 ページ： 096103-096103-4 発行年： 2005年09月
JST資料番号： D0517A ISSN： 0034-6748 CODEN： RSINAK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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