文献
J-GLOBAL ID:200902275002220556
整理番号:06A0266853
プラズマ発光コントロールシステムを用いた反応性パルススパッタリング法によるSbドープSnO2(ATO)高速成膜
著者 (9件):
河口佳大
(青山学院大 理工)
,
大野信吾
(青山学院大 理工)
,
大野信吾
(ブリヂストン)
,
宮村会実佳
(青山学院大 理工)
,
佐藤泰史
(青山学院大 理工)
,
岩淵芳典
(ブリヂストン)
,
吉川雅人
(ブリヂストン)
,
FRACH P.
(Fraunhofer Inst. Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (FEP))
,
重里有三
(青山学院大 理工)
資料名:
応用物理学関係連合講演会講演予稿集
(Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻:
53rd
号:
2
ページ:
668
発行年:
2006年03月22日
JST資料番号:
Y0054A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)