文献
J-GLOBAL ID:200902275221784317
整理番号:05A0569060
量子化学計算による液浸のモデリング
The modeling of immersion liquid by quantum chemical calculation
著者 (4件):
IRISAWA Jun
(Asahi Glass Co., Ltd., Kanagawa, JPN)
,
OKAZOE Takashi
(Asahi Glass Co., Ltd., Kanagawa, JPN)
,
ERIGUCHI Takeshi
(Asahi Glass Co., Ltd., Kanagawa, JPN)
,
YOKOKOJI Osamu
(Asahi Glass Co., Ltd., Kanagawa, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
5754
号:
Pt.2
ページ:
1040-1048
発行年:
2005年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)