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文献
J-GLOBAL ID：200902275413002959
整理番号：07A0796133
MEMS微細加工プロセスから生じたPb(Zr,Ti)O3薄膜の強誘電特性と圧電特性の劣化
Degradation in the ferroelectric and piezoelectric properties of Pb(Zr,Ti)O3 thin films derived from a MEMS microfabrication process
KOBAYASHI T
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
ICHIKI M
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
KONDOU R
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
NAKAMURA K
(Taiyo Yuden Co. Ltd., Gunma, JPN)
,
MAEDA R
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名：
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 17 号： 7 ページ： 1238-1241 発行年： 2007年07月
JST資料番号： W1424A ISSN： 0960-1317 CODEN： JMMIEZ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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