文献
J-GLOBAL ID:200902275435749446
整理番号:04A0586188
反応性堆積エピタクシーによるSi(111)基板への半導性BaSi2薄膜のエピタキシャル成長
Epitaxial Growth of Semiconducting BaSi2 Thin Films on Si(111) Substrates by Reactive Deposition Epitaxy
著者 (4件):
INOMATA Y
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
,
NAKAMURA T
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
,
SUEMASU T
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
,
HASEGAWA F
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
43
号:
7A
ページ:
4155-4156
発行年:
2004年07月15日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)