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文献
J-GLOBAL ID：200902276182132265
整理番号：08A0697136
CVDダイヤモンドモールドを用いた高温下におけるガラスのマイクロ/ナノインプリント
Micro/nanoimprinting of glass under high temperature using a CVD diamond mold
KOMORI M
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
UCHIYAMA H
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
TAKEBE H
(Ehime Univ., Ehime, JPN)
,
KUSUURA T
(TechnoProducer Corp., Kanagawa, JPN)
,
KOBAYASHI K
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
KUWAHARA H
(Res. Inst. for Applied Sci. (RIAS), Kyoto, JPN)
,
TSUCHIYA T
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名：
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 18 号： 6 ページ： 065013,1-9 発行年： 2008年06月
JST資料番号： W1424A ISSN： 0960-1317 CODEN： JMMIEZ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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