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文献
J-GLOBAL ID：200902276238209053
整理番号：08A0565412
ミクロ接触プリンティングによる半導体のミクロパターニングにおける溶媒の影響と薄膜トランジスタ素子への応用
Influence of Solvents in Micropatterning of Semiconductors by Microcontact Printing and Application to Thin-Film Transistor Devices
TAKAKUWA Atsushi
(SEIKO EPSON Corp., Nagano, JPN)
,
TAKAKUWA Atsushi
(Japan Chemical Innovation Inst., Ibaraki, JPN)
,
AZUMI Reiko
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 47 号： 2 Issue 1 ページ： 1115-1118 発行年： 2008年02月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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