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文献
J-GLOBAL ID：200902276625040873
整理番号：09A0646186
再加工可能スピンオン三層材料: 製造可能性のための溶液と再加工
Reworkable Spin-on Trilayer Materials: Optimization of Rework Process and Solutions for Manufacturability
ZHANG Ruzhi
(AZ Electronic Materials, NJ)
,
TIMKO Allen G.
(AZ Electronic Materials, NJ)
,
ZOOK John
(AZ Electronic Materials, NJ)
,
WEI Yayi
(AZ Electronic Materials, NJ)
,
PYLNEVA Lyundmila
(AZ Electronic Materials, NJ)
,
LI Chenghong
(AZ Electronic Materials, NJ)
,
WU Hengpeng
(AZ Electronic Materials, NJ)
,
RAHMAN Dalil
(AZ Electronic Materials, NJ)
,
MCKENZIE Douglas S.
(AZ Electronic Materials, NJ)
,
ANYADIEGWU Clement
(AZ Electronic Materials, NJ)
,
LU Ping-Hung
(AZ Electronic Materials, NJ)
,
NEISSER Mark
(AZ Electronic Materials, NJ)
,
DAMMEL Ralph
(AZ Electronic Materials, NJ)
,
BRADBURY Ron
(AZ Electronic Materials, NJ)
,
LEE Timothy
(AZ Electronic Materials, NJ)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 7273 号： Pt.2 ページ： 72732O.1-72732O.12 発行年： 2009年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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