前のページに戻る この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写(冊子体のコピー)をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID:200902277119986382   整理番号:05A0013670

XeとSn放電プラズマを用いるEUV源

EUV sources using Xe and Sn discharge plasmas
著者 (9件):
BORISOV V M
(State Res. Centre of the Russian Federation-Troitsk Inst. for Innovation & Fusion Res., Moscow Region, RUS)
ELTSOV A V
(State Res. Centre of the Russian Federation-Troitsk Inst. for Innovation & Fusion Res., Moscow Region, RUS)
IVANOV A S
(State Res. Centre of the Russian Federation-Troitsk Inst. for Innovation & Fusion Res., Moscow Region, RUS)
KIRYUKHIN Y B
(State Res. Centre of the Russian Federation-Troitsk Inst. for Innovation & Fusion Res., Moscow Region, RUS)
KHRISTOFOROV O B
(State Res. Centre of the Russian Federation-Troitsk Inst. for Innovation & Fusion Res., Moscow Region, RUS)
MISHCHENKO V A
(State Res. Centre of the Russian Federation-Troitsk Inst. for Innovation & Fusion Res., Moscow Region, RUS)
PROKOFIEV A V
(State Res. Centre of the Russian Federation-Troitsk Inst. for Innovation & Fusion Res., Moscow Region, RUS)
VINOKHODOV A YU
(State Res. Centre of the Russian Federation-Troitsk Inst. for Innovation & Fusion Res., Moscow Region, RUS)
VODCHITS V A
(State Res. Centre of the Russian Federation-Troitsk Inst. for Innovation & Fusion Res., Moscow Region, RUS)

資料名:
Journal of Physics. D. Applied Physics  (Journal of Physics. D. Applied Physics)

巻: 37  号: 23  ページ: 3254-3265  発行年: 2004年12月07日 
JST資料番号: B0092B  ISSN: 0022-3727  CODEN: JPAPBE  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写(コピー)して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写(コピー)は郵送またはFAXでお送りします

※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。