文献
J-GLOBAL ID:200902278335804163
整理番号:08A0711173
リソグラフィー応用のための高分子自己組織化の統合
Integration of Polymer Self-Assembly for Lithographic Application
著者 (4件):
CHENG Joy Y.
(IBM Almaden Res. Center, CA, USA)
,
SANDERS Daniel P.
(IBM Almaden Res. Center, CA, USA)
,
KIM Ho-Cheol
(IBM Almaden Res. Center, CA, USA)
,
SUNDBERG Linda K.
(IBM Almaden Res. Center, CA, USA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
6921
号:
Pt.2
ページ:
692127.1-692127.8
発行年:
2008年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)