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文献
J-GLOBAL ID：200902278956905567
整理番号：07A0854182
水素化ポリシランベース液体材料を用いた液体処理SiO2膜
Solution-Processed SiO2 Films Using Hydrogenated Polysilane Based Liquid Materials
TANAKA Hideki
(Seiko Epson Corp., Nagano, JPN)
,
AOKI Takashi
(Seiko Epson Corp., Nagano, JPN)
,
YUDASAKA Ichio
(Seiko Epson Corp., Nagano, JPN)
,
SHIMODA Tatsuya
(Seiko Epson Corp., Nagano, JPN)
,
FURUSAWA Masahiro
(Seiko Epson Corp., Nagano, JPN)
,
IWASAWA Haruo
(JSR Corp., Ibaraki, JPN)
,
WANG Daohai
(JSR Corp., Ibaraki, JPN)
,
MATSUKI Yasuo
(JSR Corp., Ibaraki, JPN)
資料名：
Digest of Technical Papers. SID International Symposium (Society for Information Display)
(Digest of Technical Papers. SID International Symposium (Society for Information Display))
巻： 38 号： Book 1 ページ： 188-191 発行年： 2007年05月
JST資料番号： E0907A ISSN： 0097-966X 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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