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文献
J-GLOBAL ID:200902279077622620   整理番号:06A0339471

バルク・ゲルマニウムから作製した200mmゲルマニウムオンインシュレータ(GeOI)基板の製作と特性

Fabrication and characterisation of 200mm germanium-on-insulator (GeOI) substrates made from bulk germanium
著者 (15件):
DEGUET C.
(CEA/GRE, Grenoble, FRA)
SANCHEZ L.
(CEA/GRE, Grenoble, FRA)
AKATSU T.
(SOITEC SA, Bernin, FRA)
ALLIBERT F.
(SOITEC SA, Bernin, FRA)
DECHAMP J.
(CEA/GRE, Grenoble, FRA)
MADEIRA F.
(CEA/GRE, Grenoble, FRA)
MAZEN F.
(CEA/GRE, Grenoble, FRA)
TAUZIN A.
(CEA/GRE, Grenoble, FRA)
LOUP V.
(CEA/GRE, Grenoble, FRA)
RICHTARCH C.
(SOITEC SA, Bernin, FRA)
MERCIER D.
(SOITEC SA, Bernin, FRA)
SIGNAMARCHEIX T.
(SOITEC SA, Bernin, FRA)
LETERTRE F.
(SOITEC SA, Bernin, FRA)
DEPUYDT B.
(UMICORE, Olen, BEL)
KERNEVEZ N.
(CEA/GRE, Grenoble, FRA)

資料名:
Electronics Letters  (Electronics Letters)

巻: 42  号:ページ: 415-417  発行年: 2006年03月30日 
JST資料番号: A0887A  ISSN: 0013-5194  CODEN: ELLEAK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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