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文献
J-GLOBAL ID：200902279077622620
整理番号：06A0339471
バルク・ゲルマニウムから作製した200mmゲルマニウムオンインシュレータ(GeOI)基板の製作と特性
Fabrication and characterisation of 200mm germanium-on-insulator (GeOI) substrates made from bulk germanium
DEGUET C.
(CEA/GRE, Grenoble, FRA)
,
SANCHEZ L.
(CEA/GRE, Grenoble, FRA)
,
AKATSU T.
(SOITEC SA, Bernin, FRA)
,
ALLIBERT F.
(SOITEC SA, Bernin, FRA)
,
DECHAMP J.
(CEA/GRE, Grenoble, FRA)
,
MADEIRA F.
(CEA/GRE, Grenoble, FRA)
,
MAZEN F.
(CEA/GRE, Grenoble, FRA)
,
TAUZIN A.
(CEA/GRE, Grenoble, FRA)
,
LOUP V.
(CEA/GRE, Grenoble, FRA)
,
RICHTARCH C.
(SOITEC SA, Bernin, FRA)
,
MERCIER D.
(SOITEC SA, Bernin, FRA)
,
SIGNAMARCHEIX T.
(SOITEC SA, Bernin, FRA)
,
LETERTRE F.
(SOITEC SA, Bernin, FRA)
,
DEPUYDT B.
(UMICORE, Olen, BEL)
,
KERNEVEZ N.
(CEA/GRE, Grenoble, FRA)
資料名：
Electronics Letters
(Electronics Letters)
巻： 42 号： 7 ページ： 415-417 発行年： 2006年03月30日
JST資料番号： A0887A ISSN： 0013-5194 CODEN： ELLEAK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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