文献
J-GLOBAL ID:200902279528487617
整理番号:08A0558025
SiH4-H2混合気体での測定された気体濃度と流れの特性
Measured Gas Concentrations and Flow Properties in SiH4-H2 Mixtures
著者 (2件):
SUZUKI Atsushi
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
NONAKA Hidehiko
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
47
号:
5 Issue 1
ページ:
3661-3665
発行年:
2008年05月25日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)