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文献
J-GLOBAL ID：200902279707689303
整理番号：07A0104387
液体輸送MOCVDによるAlドープZnO薄膜の調製
Preparation of Al doped ZnO thin films by Liquid-Delivery MOCVD
KABEYA Masanori
(Meisei Univ., Tokyo, JPN)
,
TASAKI Yuzo
(Toshima MFG Co., Ltd., Saitama, JPN)
,
NITTAMACHI Takashi
(Toshima MFG Co., Ltd., Saitama, JPN)
,
YOSHIZAWA Shuji
(Meisei Univ., Tokyo, JPN)
資料名：
Transactions of the Materials Research Society of Japan
(Transactions of the Materials Research Society of Japan)
巻： 31 号： 4 ページ： 1021-1024 発行年： 2006年12月
JST資料番号： L4468A ISSN： 1382-3469 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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