文献
J-GLOBAL ID:200902279709840149
整理番号:05A0675922
オクタメチルシクロテトラシロキサンからプラズマ堆積した有機シリコン薄膜の構造的,機械的および電気的性質への縮合反応の影響
Effects of condensation reactions on the structural, mechanical, and electrical properties of plasma-deposited organosilicon thin films from octamethylcyclotetrasiloxane
著者 (2件):
ROSS April D.
(Massachusetts Inst. of Technol., Massachusetts)
,
GLEASON Karen K.
(Massachusetts Inst. of Technol., Massachusetts)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
97
号:
11
ページ:
113707.1-113707.6
発行年:
2005年06月01日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)