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文献
J-GLOBAL ID：200902280339859617
整理番号：08A0280205
陽電子消滅法を用いたポーラスLow-k膜の空孔連結性と吸湿特性の相関
Pore-Connectivity Dependence of Moisture Absorption into Porous Low-k Films by Positron-Annihilation Lifetime Spectroscopy
伊藤文則
(NEC デバイスプラットフォーム研)
,
竹内常雄
(NEC デバイスプラットフォーム研)
,
山本博規
(NEC デバイスプラットフォーム研)
,
大平俊行
(産業技術総合研)
,
鈴木良一
(産業技術総合研)
,
林喜宏
(NEC デバイスプラットフォーム研)
資料名：
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 107 号： 481(SDM2007 263-272) ページ： 21-24 発行年： 2008年02月01日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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