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文献
J-GLOBAL ID：200902280437276654
整理番号：09A0296863
HIPIMS電源供給の歴史的発展:実験室から生産まで
The Historical Development of HIPIMS Power Supplies: From Laboratory To Production
OCHS D.
(Huettinger Elektronik GmbH, Freiburg, DEU)
,
OZIMEK P.
(Huettinger Electronic Sp.z.O.O., Zielonka, POL)
,
EHIASARIAN A.
(Sheffield Hallam Univ., Sheffield, GBR)
,
SPENCER R.
(Alacritas Consultancy Ltd., Markfield, GBR)
資料名：
Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters
(Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters)
巻： 51st ページ： 288-292 発行年： 2008年
JST資料番号： E0063B ISSN： 0737-5921 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 解説 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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