文献
J-GLOBAL ID:200902280490711141
整理番号:08A0557638
マイクロ波プラズマ化学蒸着によるSi基板上で成長した自己組織化されたマイクロ錐体
Self-Organized Microcones Grown on Si Substrate by Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition
著者 (5件):
MORIYA Masataka
(Univ. Electro-Communications, Tokyo, JPN)
,
MATSUMOTO Yuji
(Univ. Electro-Communications, Tokyo, JPN)
,
MIZUGAKI Yoshinao
(Univ. Electro-Communications, Tokyo, JPN)
,
KOBAYASHI Tadayuki
(Univ. Electro-Communications, Tokyo, JPN)
,
USAMI Kouichi
(Univ. Electro-Communications, Tokyo, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
47
号:
4 Issue 2
ページ:
3050-3052
発行年:
2008年04月25日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)