文献
J-GLOBAL ID:200902280853811232
整理番号:08A1127797
セラミックススーパープロセステクノロジー スパッター法を用いた強誘電体薄膜とそれを用いた圧電デバイスの作製
著者 (3件):
小牧一樹
(パナソニックエレクトロニックデバイス 開発技セ 先行技開研)
,
村嶋祐二
(パナソニックエレクトロニックデバイス 開発技セ 先行技開研)
,
寺田二郎
(パナソニックエレクトロニックデバイス 開発技セ デバイス技開研)
資料名:
機能材料
(Function & Materials)
巻:
28
号:
12
ページ:
12-20
発行年:
2008年11月05日
JST資料番号:
Y0021A
ISSN:
0286-4835
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)