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文献
J-GLOBAL ID：200902281034836494
整理番号：05A0744377
高電気伝導層上のC軸配向したAlN薄膜の合成: Al,Mo,Ti,TiN,Ni
Synthesis of C-Axis-Oriented AlN Thin Films on High-Conducting Layers: Al, Mo, Ti, TiN, and Ni
IRIARTE Gonzalo F.
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
,
BJURSTROEM Johan
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
,
WESTLINDER Joergen
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
,
ENGELMARK Fredrik
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
,
KATARDJIEV Ilia V.
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
資料名：
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control
(IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control)
巻： 52 号： 7 ページ： 1170-1174 発行年： 2005年07月
JST資料番号： H0369A ISSN： 0885-3010 CODEN： ITUCER 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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