文献
J-GLOBAL ID:200902281146959637
整理番号:09A0296818
マグネトロンスパッタリングにおけるターゲットの異常エロージョンについてのモンテカルロ粒子シミュレーション解析
Particle-in-cell Monte Carlo Analysis of Anomalous Target Erosion in Magnetron Sputtering
著者 (3件):
SIEMERS M.
(Fraunhofer Inst. Surface Engineering and Thin Films(IST), Braunschweig, DEU)
,
PFLUG A.
(Fraunhofer Inst. Surface Engineering and Thin Films(IST), Braunschweig, DEU)
,
SZYSZKA B.
(Fraunhofer Inst. Surface Engineering and Thin Films(IST), Braunschweig, DEU)
資料名:
Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters
(Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters)
巻:
51st
ページ:
43-48
発行年:
2008年
JST資料番号:
E0063B
ISSN:
0737-5921
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)