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文献
J-GLOBAL ID：200902281897535123
整理番号：04A0757504
犠牲層の無い転写プロセスによるNiカンチレバーの作製
Ni Cantilever Fabrication by Transfer Process without Sacrificial Layer
KAWATA H
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
YASUDA M
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
HIRAI Y
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
資料名：
Sensors and Materials
(Sensors and Materials)
巻： 16 号： 4 ページ： 211-222 発行年： 2004年
JST資料番号： L0338A ISSN： 0914-4935 CODEN： SENMER 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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