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文献
J-GLOBAL ID：200902282175551864
整理番号：04A0543854
シンクロトロン放射のX線リソグラフィーを用いた螺旋マイクロコイル用原型の作製
Fabrication of Mold Master for Spiral Microcoil Utilizing X-Ray Lithography of Synchrotron Radiation
MEKARU H
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
KUSUMI S
(SUSUMU Co., Ltd., Kyoto, JPN)
,
SATO N
(Juken Kogyo Co., Ltd., Aichi, JPN)
,
YAMASHITA M
(Hyogo Prefectural Inst. of Technol., Kobe, JPN)
,
SHIMADA O
(SUSUMU Co., Ltd., Kyoto, JPN)
,
HATTORI T
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 43 号： 6B ページ： 4036-4040 発行年： 2004年06月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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