文献
J-GLOBAL ID:200902282227216848
整理番号:05A0995532
Ar/O2プラズマエッチング使用によるダイヤモンドホイスカの調製
Preparation of diamond whiskers using Ar/O2 plasma etching
著者 (2件):
LI C.y.
(Dep. of Electronic and Photonic Systems Engineering, Kochi Univ. of Technol., 185 Miyano-kuchi, Tosayamada, Kami-gun ...)
,
HATTA A.
(Dep. of Electronic and Photonic Systems Engineering, Kochi Univ. of Technol., 185 Miyano-kuchi, Tosayamada, Kami-gun ...)
資料名:
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻:
14
号:
11-12
ページ:
1780-1783
発行年:
2005年11月
JST資料番号:
W0498A
ISSN:
0925-9635
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)