文献
J-GLOBAL ID:200902282641669870
整理番号:05A0996497
エーロゾル堆積により作製したPb(Zr,Ti)O3厚膜を用いてLam波の分解能で駆動する高速光マイクロスキャナ
High-Speed Optical Microscanner Driven with Resonation of Lam Waves Using Pb(Zr,Ti)O3 Thick Films Formed by Aerosol Deposition
著者 (4件):
AKEDO Jun
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
LEBEDEV Maxim
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
SATO Harumichi
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
PARK Jaehyuk
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
44
号:
9B
ページ:
7072-7077
発行年:
2005年09月30日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)