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文献
J-GLOBAL ID：200902282641669870
整理番号：05A0996497
エーロゾル堆積により作製したPb(Zr,Ti)O3厚膜を用いてLam波の分解能で駆動する高速光マイクロスキャナ
High-Speed Optical Microscanner Driven with Resonation of Lam Waves Using Pb(Zr,Ti)O3 Thick Films Formed by Aerosol Deposition
AKEDO Jun
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
LEBEDEV Maxim
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
SATO Harumichi
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
PARK Jaehyuk
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 44 号： 9B ページ： 7072-7077 発行年： 2005年09月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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