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文献
J-GLOBAL ID：200902283689232403
整理番号：05A0478870
Nd:YAGパルスレーザによる水晶とシリコンの局所的なレーザ支援共晶接合
Localized laser assisted eutectic bonding of quartz and silicon by Nd:YAG pulsed-laser
TAN A.W.Y.
(National Univ. Singapore, Singapore, SGP)
,
TAY F.E.H.
(National Univ. Singapore, Singapore, SGP)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A120 号： 2 ページ： 550-561 発行年： 2005年05月17日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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