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文献
J-GLOBAL ID：200902283838042477
整理番号：05A0880603
微斜面サファイヤ(0001)基板上に成長したAlN膜における貫通転位の消滅機構に関する透過電子顕微鏡法を用いた研究
Studies of the annihilation mechanism of threading dislocation in AlN films grown on vicinal sapphire (0001) substrates using transmission electron microscopy
SHEN X. Q.
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
OKUMURA H.
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
MATSUHATA H.
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 87 号： 10 ページ： 101910.1-101910.3 発行年： 2005年09月05日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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