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文献
J-GLOBAL ID：200902284413781248
整理番号：06A0642987
高温での圧力センサとして,窒化アルミニウム薄膜の出力電圧の測定
Measurement of output voltage of aluminum nitride thin film as a pressure sensor at high temperature
KISHI Kazushi
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., On-site Sensing and Diagnosis Res. Lab., 807 Shukumachi ...)
,
OOISHI Yasunobu
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., On-site Sensing and Diagnosis Res. Lab., 807 Shukumachi ...)
,
NOMA Hiroaki
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., On-site Sensing and Diagnosis Res. Lab., 807 Shukumachi ...)
,
USHIJIMA Eizo
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., On-site Sensing and Diagnosis Res. Lab., 807 Shukumachi ...)
,
UENO Naohiro
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., On-site Sensing and Diagnosis Res. Lab., 807 Shukumachi ...)
,
AKIYAMA Morito
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., On-site Sensing and Diagnosis Res. Lab., 807 Shukumachi ...)
,
TABARU Tatsuo
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., On-site Sensing and Diagnosis Res. Lab., 807 Shukumachi ...)
資料名：
Journal of the European Ceramic Society
(Journal of the European Ceramic Society)
巻： 26 号： 15 ページ： 3425-3430 発行年： 2006年
JST資料番号： E0801B ISSN： 0955-2219 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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