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文献
J-GLOBAL ID：200902284900583559
整理番号：09A0646203
ラインエッジ粗さの形成過程における高分子動力学のメソ尺度のシミュレーション
Meso-scale simulation of the polymer dynamics in the formation process of line-edge roughness
MORITA Hiroshi
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
DOI Masao
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 7273 号： Pt.2 ページ： 727337.1-727337.8 発行年： 2009年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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