文献
J-GLOBAL ID:200902285269441085
整理番号:06A0369947
鋼の上に反応性マグネトロンスパッタリングで析出した酸窒化タンタル薄膜の接着およびトライボロジー挙動の評価
Evaluation of adhesion and tribological behaviour of tantalum oxynitride thin films deposited by reactive magnetron sputtering onto steel substrates
著者 (5件):
BANAKH O.
(Univ. of Applied Sciences, HE-ARC, Av. de l’Hotel-de-Ville 7, CH-2400 Le Locle, CHE)
,
CSEFALVAY C.
(Univ. of Applied Sciences, HE-ARC, Av. de l’Hotel-de-Ville 7, CH-2400 Le Locle, CHE)
,
STEINMANN P.-a.
(Univ. of Applied Sciences, HE-ARC, Av. de l’Hotel-de-Ville 7, CH-2400 Le Locle, CHE)
,
FENKER M.
(Res. Inst. for Precious Metals and Metals Chemistry, Katharinenstrasse 17, D-73525 Schwaebisch Gmuend, DEU)
,
KAPPL H.
(Res. Inst. for Precious Metals and Metals Chemistry, Katharinenstrasse 17, D-73525 Schwaebisch Gmuend, DEU)
資料名:
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻:
200
号:
22-23
ページ:
6500-6504
発行年:
2006年06月20日
JST資料番号:
D0205C
ISSN:
0257-8972
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)