文献
J-GLOBAL ID:200902285638294270
整理番号:08A0020786
真空計の校正のための二ステージ流れ分割システム
Two-stage flow-dividing system for the calibration of vacuum gauges
著者 (4件):
YOSHIDA Hajime
(National Metrology Inst. of Japan, AIST, AIST Central 3, 1-1-1, Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8563, JPN)
,
ARAI Kenta
(National Metrology Inst. of Japan, AIST, AIST Central 3, 1-1-1, Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8563, JPN)
,
AKIMICHI Hitoshi
(National Metrology Inst. of Japan, AIST, AIST Central 3, 1-1-1, Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8563, JPN)
,
HIRATA Masahiro
(National Metrology Inst. of Japan, AIST, AIST Central 3, 1-1-1, Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8563, JPN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
26
号:
1
ページ:
128
発行年:
2008年01月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)