前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：200902285744868170
整理番号：08A0649672
32nmノードリソグラフィー用の1.3NA装置によるパターン形成の方法と性能
Patterning Strategy and Performance of 1.3NA Tool for 32nm Node Lithography
MIMOTOGI Shoji
(TOSHIBA CORP.)
,
SATAKE Masaki
(TOSHIBA CORP.)
,
KITAMURA Yosuke
(TOSHIBA CORP.)
,
TAKAHATA Kazuhiro
(TOSHIBA CORP.)
,
KODERA Katsuyoshi
(TOSHIBA CORP.)
,
FUJISE Hiroharu
(TOSHIBA CORP.)
,
EMA Tatsuhiko
(TOSHIBA CORP.)
,
SHO Koutaro
(TOSHIBA CORP.)
,
ISHIGO Kazutaka
(TOSHIBA CORP.)
,
KONO Takuya
(TOSHIBA CORP.)
,
ASANO Masafumi
(TOSHIBA CORP.)
,
YOSHIDA Kenji
(TOSHIBA CORP.)
,
KANAI Hideki
(TOSHIBA CORP.)
,
KYOH Suigen
(TOSHIBA CORP.)
,
HARAKAWA Hideaki
(TOSHIBA CORP.)
,
NOMACHI Akiko
(TOSHIBA CORP.)
,
ISHIDA Tatsuya
(TOSHIBA CORP.)
,
MIYASHITA Katsura
(TOSHIBA CORP.)
,
INOUE Soichi
(TOSHIBA CORP.)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 6924 号： Pt.1 ページ： 69240M.1-69240M.9 発行年： 2008年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。