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文献
J-GLOBAL ID：200902286099792135
整理番号：03A0758455
集積回路中の電気欠陥を検査するためのレーザテラヘルツ放射顕微鏡
Laser terahertz-emission microscope for inspecting electrical faults in integrated circuits
KIWA T
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
TONOUCHI M
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
YAMASHITA M
(Inst. Physical and Chemical Res., Saitama, JPN)
,
KAWASE K
(Inst. Physical and Chemical Res., Saitama, JPN)
資料名：
Optics Letters
(Optics Letters)
巻： 28 号： 21 ページ： 2058-2060 発行年： 2003年11月01日
JST資料番号： H0690A ISSN： 0146-9592 CODEN： OPLEDP 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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