文献
J-GLOBAL ID:200902286145091147
整理番号:04A0757503
LIGA工程により実現したPZT微細ロッド圧電複合体
Piezoelectric Composites of Fine PZT Rods Realized by LIGA Process
著者 (4件):
HIRATA Y
(Sumitomo Electric Ind., Ltd., Hyogo, JPN)
,
NAKAMAE K
(Sumitomo Electric Ind., Ltd., Hyogo, JPN)
,
NUMAZAWA T
(Sumitomo Electric Ind., Ltd., Hyogo, JPN)
,
TAKADA H
(Sumitomo Electric Ind., Ltd., Hyogo, JPN)
資料名:
Sensors and Materials
(Sensors and Materials)
巻:
16
号:
4
ページ:
199-210
発行年:
2004年
JST資料番号:
L0338A
ISSN:
0914-4935
CODEN:
SENMER
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)