文献
J-GLOBAL ID:200902286279411199
整理番号:04A0447874
2個のシャワーヘッドを具備したマイクロ波励起の高密度プラズマ装置による無損傷電極窓の高速エッチング
High-Speed Damage-Free Contact Hole Etching Using Dual Shower Head Microwave-Excited High-Density-Plasma Equipment
著者 (8件):
GOTO T
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
YAMAUCHI H
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
KATO T
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
TERASAKI M
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
TERAMOTO A
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
HIRAYAMA M
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
SUGAWA S
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
OHMI T
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
43
号:
4B
ページ:
1784-1787
発行年:
2004年04月30日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)