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文献
J-GLOBAL ID：200902286341746240
整理番号：03A0584186
表面エンコーダ用の大面積正弦波格子面の精密ナノ製作と評価
Precision nano-fabrication and evaluation of a large area sinusoidal grid surface for a surface encoder
GAO W
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
ARAKI T
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
KIYONO S
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
OKAZAKI Y
(AIST, Tsukuba, JPN)
,
YAMANAKA M
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名：
Precision Engineering
(Precision Engineering)
巻： 27 号： 3 ページ： 289-298 発行年： 2003年07月
JST資料番号： A0734B ISSN： 0141-6359 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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