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文献
J-GLOBAL ID：200902286422557981
整理番号：04A0021105
Ar-O2およびN2-O2マイクロ波フローイング後段放電における酸素原子の製造
Production of O atoms in Ar-O2 and N2-O2 microwave flowing post-discharges
RICARD A
(CPAT-UPS, Toulouse, FRA)
,
MONNA V
(CPAT-UPS, Toulouse, FRA)
,
MOZETIC M
(Inst. of Surface Engineering, Ljubljana, SVN)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 174/175 ページ： 905-908 発行年： 2003年09月
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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