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文献
J-GLOBAL ID：200902286557481390
整理番号：05A0999889
XPSを用いたSiO2におけるチャージアップの膜厚・膜質依存性の評価
藤原哲之
(産業技術総合研)
,
藤原哲之
(東京理大)
,
佐藤陽亮
(産業技術総合研)
,
佐藤陽亮
(東京理大)
,
山本和弘
(産業技術総合研)
,
野中秀彦
(産業技術総合研)
,
一村信吾
(産業技術総合研)
,
一村信吾
(東京理大)
,
二瓶好正
(東京理大)
資料名：
真空に関する連合講演会講演予稿集
巻： 46th ページ： 77 発行年： 2005年
JST資料番号： L1308A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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