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文献
J-GLOBAL ID：200902286843439333
整理番号：04A0786006
キセノンエキシマランプによる真空紫外照射を用いてゾル-ゲル誘導した酸化チタン薄膜の調製
Preparation of Sol-Gel Derived Titanium Oxide Thin Films Using Vacuum Ultraviolet Irradiation with a Xenon Excimer Lamp
NAGANUMA Y
(Kanagawa Industrial Technol. Res. Inst., Kanagawa, JPN)
,
TANAKA S
(Kanagawa Industrial Technol. Res. Inst., Kanagawa, JPN)
,
KATO C
(Kanagawa Industrial Technol. Res. Inst., Kanagawa, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 43 号： 9A ページ： 6315-6318 発行年： 2004年09月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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