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J-GLOBAL ID：200902286965811489 整理番号：08A0875258

超高感度応力検出のための圧電ナノカンチレバーの製作

Fabrication of piezoresistive nanocantilevers for ultra-sensitive force detection

著者 (3件)：

JIANG Y G

(Tohoku Univ., Sendai, JPN)

ONO T

(Tohoku Univ., Sendai, JPN)

ESASHI M

(Tohoku Univ., Sendai, JPN)

資料名：

Measurement Science and Technology (Measurement Science and Technology)

巻： 19 号： 8 ページ： 084011,1-5 発行年： 2008年08月
JST資料番号： C0354C ISSN： 0957-0233 CODEN： MSTCEP 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

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