文献
J-GLOBAL ID:200902287053994694
整理番号:03A0729904
ULSIのパターン面積縮小に及ぼす三次元トランジスタの影響
Impact of Three-Dimensional Transistor on the Pattern Area Reduction for ULSI
著者 (1件):
WATANABE S
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
資料名:
IEEE Transactions on Electron Devices
(IEEE Transactions on Electron Devices)
巻:
50
号:
10
ページ:
2073-2080
発行年:
2003年10月
JST資料番号:
C0222A
ISSN:
0018-9383
CODEN:
IETDAI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)