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文献
J-GLOBAL ID：200902287711917186
整理番号：06A0385692
微細加工技術で作成したPd薄膜の水素透過特性
Hydrogen permeation characteristics of thin Pd membrane prepared by microfabrication technology
ZHANG Y.
(MEMS and Packaging Group, Advanced Manufacturing Res. Inst., National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. ...)
,
GWAK J.
(Ecomaterials Center, National Inst. for Materials Sci., Sengen 1-2-1, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, JPN)
,
MURAKOSHI Y.
(MEMS and Packaging Group, Advanced Manufacturing Res. Inst., National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. ...)
,
IKEHARA T.
(MEMS and Packaging Group, Advanced Manufacturing Res. Inst., National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. ...)
,
MAEDA R.
(MEMS and Packaging Group, Advanced Manufacturing Res. Inst., National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. ...)
,
NISHIMURA C.
(Ecomaterials Center, National Inst. for Materials Sci., Sengen 1-2-1, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, JPN)
資料名：
Journal of Membrane Science
(Journal of Membrane Science)
巻： 277 号： 1-2 ページ： 203-209 発行年： 2006年06月01日
JST資料番号： E0669A ISSN： 0376-7388 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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