文献
J-GLOBAL ID:200902287863688964
整理番号:04A0382944
超ナノ結晶ダイヤモンド薄膜における新規MEMSテクノロジーのための材料科学と作製過程
Materials science and fabrication processes for a new MEMS technology based on ultrananocrystalline diamond thin films
著者 (7件):
AUCIELLO O
(Argonne National Lab., IL, USA)
,
BIRRELL J
(Argonne National Lab., IL, USA)
,
CARLISLE J A
(Argonne National Lab., IL, USA)
,
GERBI J E
(Argonne National Lab., IL, USA)
,
XIAO X
(Argonne National Lab., IL, USA)
,
PENG B
(Northwestern Univ., IL, USA)
,
ESPINOSA H D
(Northwestern Univ., IL, USA)
資料名:
Journal of Physics. Condensed Matter
(Journal of Physics. Condensed Matter)
巻:
16
号:
16
ページ:
R539-R552
発行年:
2004年04月28日
JST資料番号:
B0914B
ISSN:
0953-8984
CODEN:
JCOMEL
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)