文献
J-GLOBAL ID:200902288149996660
整理番号:09A0735562
ステップ・アンド・フラッシュ インプリントリソグラフィー
A Decade of Step and Flash Imprint Lithography
著者 (1件):
WILLSON C. Grant
(Univ. Texas, Texas, USA)
資料名:
Journal of Photopolymer Science and Technology
(Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻:
22
号:
2
ページ:
147-153
発行年:
2009年
JST資料番号:
L0202A
ISSN:
0914-9244
CODEN:
JSTEEW
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)