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文献
J-GLOBAL ID：200902288464685206
整理番号：09A0552296
オゾンによるシリコン酸化
Silicon oxidation by ozone
FINK Christian K
(Univ. Cambridge, Cambridge, GBR)
,
NAKAMURA Ken
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
ICHIMURA Shingo
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
JENKINS Stephen J
(Univ. Cambridge, Cambridge, GBR)
資料名：
Journal of Physics. Condensed Matter
(Journal of Physics. Condensed Matter)
巻： 21 号： 18 ページ： 183001,1-19 発行年： 2009年05月06日
JST資料番号： B0914B ISSN： 0953-8984 CODEN： JCOMEL 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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