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文献
J-GLOBAL ID：200902288477265923
整理番号：04A0157316
傾斜/回転UVリソグラフィーによる3次元微細加工
3D microfabrication with inclined/rotated UV lithography
HAN M
(Pohang Univ. Sci. and Technol., Kyongbuk, KOR)
,
LEE W
(Pohang Univ. Sci. and Technol., Kyongbuk, KOR)
,
LEE S-K
(Pohang Univ. Sci. and Technol., Kyongbuk, KOR)
,
LEE S S
(Pohang Univ. Sci. and Technol., Kyongbuk, KOR)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A111 号： 1 ページ： 14-20 発行年： 2004年03月01日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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