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J-GLOBAL ID：200902288590183380 整理番号：04A0197165

VLSIの物理解析のためのサンプル調整法

Sample preparation techniques for physical analysis of VLSIs

著者 (4件)：

NAKAJIMA S

(NTT Electronics Corp., Kanagawa, JPN)

NAKAMURA S

(NTT Electronics Corp., Kanagawa, JPN)

UEKI T

(NTT Electronics Corp., Kanagawa, JPN)

SAKAI T

(NTT Electronics Corp., Kanagawa, JPN)

資料名：

Microelectronics Reliability (Microelectronics Reliability)

巻： 44 号： 3 ページ： 449-458 発行年： 2004年03月
JST資料番号： C0530A ISSN： 0026-2714 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

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