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文献
J-GLOBAL ID：200902288791970950
整理番号：03A0547761
オゾン混合酸素ガス雰囲気中での高温での(0001)4H-SiCの熱酸化
Thermal oxidation of (0001) 4H-SiC at high temperatures in ozone-admixed oxygen gas ambient
KOSUGI R
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. Ibaraki, JPN)
,
FUKUDA K
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. Ibaraki, JPN)
,
ARAI K
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. Ibaraki, JPN)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 83 号： 5 ページ： 884-886 発行年： 2003年08月04日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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