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文献
J-GLOBAL ID：200902288834265520
整理番号：07A0438469
RF MEMSスイッチの金属接触信頼性
Metal contact reliability of RF MEMS switches
MA Qing
(Intel Corp., CA)
,
TRAN Quan
(Intel Corp., CA)
,
CHOU Tsung-Kuan A.
(Intel Corp., CA)
,
HECK John
(Intel Corp., CA)
,
BAR Hanan
(Intel Corp., CA)
,
KANT Rishi
(Intel Corp., CA)
,
RAO Valluri
(Intel Corp., CA)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 6463 ページ： 646305.1-646305.13 発行年： 2007年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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