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文献
J-GLOBAL ID：200902288931352038
整理番号：05A0819816
界面活性剤に基づくレジストを用いるサイト選択的パターニング
Site-Selective Patterning Using Surfactant-Based Resists
PESIKA Noshir S.
(Johns Hopkins Univ., Maryland)
,
FAN Fengqiu
(Johns Hopkins Univ., Maryland)
,
SEARSON Peter C.
(Johns Hopkins Univ., Maryland)
,
STEBE Kathleen J.
(Johns Hopkins Univ., Maryland)
資料名：
Journal of the American Chemical Society
(Journal of the American Chemical Society)
巻： 127 号： 34 ページ： 11960-11962 発行年： 2005年08月31日
JST資料番号： C0254A ISSN： 0002-7863 CODEN： JACSAT 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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